（1）半導體實驗室氣路外部因素不正常所引起的故障；

　?。?）人為的操作使用過程不當引起的故障；

　?。?）半導體實驗室氣路自身內(nèi)部某些元件質量缺陷引起的故障。

　　1、儀器外部因素不正常引起的設備故障

　　這類故障主要由于實驗室環(huán)境溫度、濕度不適宜，供電電壓不穩(wěn)，外部電磁場以及儀器受震動而引起的。在溫度過高、濕度過大、通風不良等環(huán)境條件下，設備運行過程中某些元件會過熱，甚至燒毀，電路板會氧化、遭腐蝕損壞，電路短路以及導電性灰塵吸潮也能夠直接燒壞元件。

　　2、操作不當或麻痹大意引起故障

　　如果操作者在實驗過程中操作不當，致使一些液體流入儀器內(nèi)部的電路板或元件上，會發(fā)生化學腐蝕和電化學腐蝕，使儀器受損。有的儀器設備在開機后須預熱一段時間方可使用，而有的儀器設備在開機后須按要求進行調整、校正參數(shù)才能使用。如果儀器發(fā)生故障前的征兆沒能引起使用者注意，極有可能造成儀器損壞。這些人為操作不當出現(xiàn)的故障應引起管理者足夠重視。

　　3、儀器設備質量問題引起的故障

　　碳膜電位器，多圈電位器或機械零部件因磨損、氧化或接觸不良能夠造成儀器設備的故障；儀器設備所使用的元器件性能不佳，例如，半導體器件、集成電路、電阻、電容等性能不穩(wěn)定也會引發(fā)故障；儀器設備生產(chǎn)廠家制造工藝落后、元器件虛焊、插件接觸不良，也能使儀器在使用過程中因瞬間電流偏高而擊穿元器件，造成短路或開路的故障。

　　半導體實驗室氣路系統(tǒng)的維護事項有哪些？

　　1、對庫存、備用或因任務不足需要封存一段時間的儀器設備要定期清潔、查點、進行防塵、防銹、防潮等方面的維護。

　　2、各實驗室必須建立嚴格的崗位責任制，半導體實驗室氣路系統(tǒng)根據(jù)所使用儀器設備的特點和要求，制定相應的維護保養(yǎng)措施，并認真落實，使儀器設備的維護保養(yǎng)做到經(jīng)?；⒅贫然?。

　　3、要加強對實驗技術人員以及學生的基本操作訓練，使他們熟悉儀器設備性能特點，掌握基本操作方法，避免因操作不當或失誤造成損壞事故，特別是大型精密儀器設備使用，要嚴格執(zhí)行持證上崗的制度，嚴禁未經(jīng)培訓、考核不合格人員私自操作大型精密儀器。

　　以上便是今天關于半導體實驗室氣路發(fā)生故障的原因一般可歸納為以下3類的全部分享了，希望對大家今后使用本設備能有幫助。